關鍵字：ASML 450mm晶圓 超紫外光 EUV 微影
可想而知許多設備界的高層有多痛苦了。特別是幾年前，芯片制造商又談論朝450mm晶圓轉移的談話之際。
許多人打從一開始就對450mm能否成真抱持懷疑態度?，F在看來，450mm是不可避免的，盡管傳統的看法都認為只有少數幾家芯片制造商──特別是英特爾(Intel)、三星電子(Samsung Electronics)、臺積電(TSMC)和 Globalfoundries 等公司有能力建造450mm生產線。
而 且，從提出450mm開始，業界就充斥著許多辯論，包括工具供貨商和他們的客戶將如何分配轉移到新晶圓尺寸的相關研發成本。市調機構 Gartner 的分析師Bob Johnson本周說，450mm的累計研發成本將達170億美元，而今年度大約占20億美元。而其它機構則有各式各樣不同的預估數字。
一 些剛萌芽的研究項目正在努力進行研發，其中包括由英特爾(Intel)、三星電子(Samsung Electronics)、臺積電(TSMC)和 Globalfoundries等芯片巨擘共同組成，耗資48億美元的「全球450聯盟(Global 450 Consortium)」在內。
但 對部份工具制造商來說，這些遠遠不夠。微影設備供貨商 ASML Holding NV公司眼見450mm一再延宕的困境。要轉移到450mm，將會需要全新的微影設備，以及可支持更大尺寸、重量更重的晶圓，而不會發生震動的載臺，以避 免因震動而導致無法作出精確的微影曝光。 ASML 公司已經預見到，僅有少數芯片制造商會購買新工具，投資報酬率將非常有限。
當然，ASML早已投入450mm晶圓的研發，但這是在該公司激活一個創新的客戶合作計劃，要求希望轉移到450mm晶圓，以及獲得超紫外光(EUV)微影技術的芯片制造商，也共同投入新技術的研發。
本 周一(7月9日)，英特爾宣布以41億美元收購ASML公司15%股份，加快450mm和EUV技術發展。其中除了超過30億美元是用在收購ASML股份 外，英特爾也針對新技術的開發挹注10億美元。當然，英特爾也承諾將進一步采購450mm和EUV技術的開發和生產工具。
三星、臺積電必須買單
ASML 還將再出售另外10%的股份給其它希望發展450mm晶圓和EUV微影工具的芯片制造商。該公司目前正在和三星、臺積電討論。若這些公司拒絕或同意參與， 但并未買下10%股份，ASML公司仍愿意出售剩余部份，并將邀請其它公司加入。 (由于ASML訂定的條款，英特爾的股份收購上限為15%。)
整件事看起來，確實像上餐前就先把賬給付掉。但ASML有理由這樣做。 ASML不會在錢沒到位以前就先投資450mm。由于ASML在微影市場舉足輕重，因此沒有ASML投入，450mm就很難發展。
在 朝450mm 轉移的過程中，英特爾將獲得最大利益。該公司財務長Stacy Smith表示，預計轉移到450mm將為英特爾節省超過100億美元的制造成本。因此，英特爾只要求ASML報出價錢，毫無疑問，財大氣粗的英特爾也將 讓想轉移到450mm和EUV微影技術的競爭對手獲益，因為最終他們也能獲得相關工具。
英特爾已經買下15%股份了。即使英 特爾是唯一一家入股ASML，直接支持其技術發展的芯片公司，這家全球最大的芯片制造商也將在每一次競爭對手掏出支票簿來準備購買新工具時，搶先一步贏得 先機。ASML公司發言人表示，英特爾態度非常堅定，因為他們看到了開發這些技術的利益所在。
無論是三星、臺積電，或是任何 其它的芯片供貨商會入股ASML公司都有待觀察。入股ASML確實有些好處，特別是在英特爾也投下鉅資之際，毫無疑問，ASML必然會開發450mm工具 (還有EUV，盡管該技術距離成熟還很遙遠)。一旦ASML的工具準備就緒，包括三星、臺積電和其它任何想跟進的廠商，都得付錢購買新工具。
但三星和臺積電將做出明智抉擇，并將參與其中。當450mm工具就緒時，領先的芯片制造商將會立即需要它們。如果三星和臺積電放棄這個機會，他們獲得新工具的順序就會排在英特爾之后了。
英 特爾已經獲得15%的ASML股權，三星和臺積電也都有可能出資買下其它可出售股份，不過這些都是無投票權股份。依常理來看，當客戶真的決定對設備商挹注 研發資金共同開發新技術時，他們通常會大加宣揚。三星、臺積電和任何其它可能投資的公司若再不展開行動，屆時就可能會發現自己被拒于新技術的門外。
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